Με την ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών της Κίνας, η ανάπτυξη βασικών εξαρτημάτων για τον εξοπλισμό διεργασίας έχει καταστεί κρίσιμος περιορισμός στην ανάπτυξη εξοπλισμού. Καθώς η έκκληση για τοπική προσαρμογή της τεχνολογίας ημιαγωγών γίνεται όλο και πιο ισχυρή, όλο και περισσότερες τεχνολογίες συμφόρησης στη βιομηχανία ημιαγωγών θα ξεπεραστούν. Με βάση την πολυετή εμπειρία στη βιομηχανία ημιαγωγών, η εταιρεία μας έχει αναπτύξει έναν σερβοκινητήρα υψηλής ταχύτητας κοίλου-άξονα-για την απορρόφηση πλακών σε εξοπλισμό επίστρωσης, ανάπτυξης και καθαρισμού ημιαγωγών. Αυτός ο κινητήρας διαθέτει υψηλή επιτάχυνση, μεγάλο εύρος στροφών και υψηλή απόκριση και έχει επαινεθεί ευρέως από τους πελάτες του κλάδου.
Εφαρμογές του σερβοκινητήρα κοίλου-άξονα:
Εξοπλισμός έκθεσης και ανάπτυξης (επικάλυψη, ανάπτυξη): Ο κύριος εξοπλισμός για διεργασίες φωτολιθογραφίας, έλεγχος επίστρωσης, έκθεσης και ανάπτυξης.
Εξοπλισμός καθαρισμού, επίστρωσης, ανάπτυξης και αφαίρεσης φιλμ.
Κατάλληλο για καθαρισμό με φυσικό ξέπλυμα, καθαρισμό σωματιδίων και διεργασίες ψεκασμού.
Προδιαγραφές προϊόντος και περιοχές εφαρμογής σερβοκινητήρα κοίλου άξονα:
750W/1000W – 5000, 6000 rpm
Τομείς εφαρμογής (μοντέλα-υψηλών προδιαγραφών):
Εξοπλισμός ημιαγωγών 8 ιντσών και 12 ιντσών.
Διαδικασίες όπως η επίστρωση, η ανάπτυξη, ο καθαρισμός και η χάραξη.
Η μέγιστη επιτάχυνση μπορεί να φτάσει τα 50000 R/S² στιγμιαία επιτάχυνση.
Ο ειδικός σχεδιασμός του άκρου άξονα εξασφαλίζει τον χαμηλότερο συντελεστή εκκένωσης φορτίου άκρου άξονα.
